利用吸收法的廢氣處理設(shè)備采用低揮發(fā)或不揮發(fā)性溶劑對VOCs進行吸收，再利用VOCs和吸收劑物理性質(zhì)的差異進行分離。含VOCs的氣體自設(shè)備底部進入塔內(nèi)，在上升過程中與來自塔頂?shù)奈談┠媪鹘佑|，凈化后的氣體由塔頂排出。

吸附型廢氣處理設(shè)備主要是利用多孔物質(zhì)對廢氣進行吸附，并且使其進行脫落的過程，吸附處理廢氣時，吸附的對象是氣態(tài)污染物，氣固吸附。被吸附的氣體組分稱為吸附質(zhì)，多孔固體物質(zhì)稱為吸附劑。

燃燒及催化廢氣處理設(shè)備，燃燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質(zhì)燃燒，大多數(shù)生成二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。但當處理含氯和含硫的有機化合物時，燃燒生成產(chǎn)物中HCl或SO2，需要對燃燒后氣體進一步處理。

低溫等離子設(shè)備是利用等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含.高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應(yīng)，.終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達到凈化廢氣的目的。